一、夜半闻喜讯
  “清华又立新功,路新春教授带领的团队研发又一芯片设备解决该领域国外‘卡脖子’问题。”老同学任海伦在群里发出了一个视频,报告这一重大喜讯。
  这个走在科技前沿的路新春教授,真的是我们的老同学吗?
  曾做过多家集团总工程师,自2009——2021在清华航院从事航空设计的老同学牟学利知晓路新春多年的付出,他由衷地慨叹:“二十年不懈追求,终究功成,为您自豪!”
  牟日敏,这个在政府最基层兢兢业业为栖霞百姓解决果树栽培、管理技术的高级农艺师,用最通俗的比方开着玩笑,来表达着内心对老同学的钦佩:“按照比例,路大咖吃海参鲍鱼,我吃块地瓜、玉米饼子差不多。”
  JuliaZhang(张振荣)西班牙诚信基金会理事长,多年来为旅西华人能更好更快地融入西班牙社会以及华人二代、三代的健康成长与发展做了大量工作,为中国与西班牙的之间良好交流做出了重要贡献。尽管与我们有着七个小时的时差,但是,发现老同学发在群里的喜讯,抑制不住内心的自豪,一如以往那个活泼聪颖的小姑娘,她兴奋地欢呼起来:“哇!太棒了!好自豪啊!可以转发吗?”
  山大的丁教授,我们的班长,也是一如既往地严谨,特意百度官方消息链接:“机械系路新春教授带领研发首台12英寸超精密晶圆减薄机正式进入集成电路大生产线。”大约怕我们这些外行不懂得这个“晶圆”的价值,用了我们最熟悉的栖霞苹果作比方,“一片晶圆顶一车皮苹果!”已经是夜里十一点半了,被这一喜讯惊动,一直忙于工作的齐鲁名医牟青慧终于露面:“刚入群即见大喜事,祝贺路教授,为你傲骄!海伦好,谢谢你分享这个令人鼓舞的好消息!”任海伦同学客气着:“影响同学们休息了,不好意思。路新春教授骄人的业绩确实可喜可贺。”
  行家看门道,外行看热闹。路教授的研发,到底有多大的价值,作为科技盲,我一窍不通。同与他来自古镇都联中、且在清华工作过的牟学利预测:“路新春 ,我感觉您的晶圆减薄机有科技进步一等奖的可能。不过现在条件有些严格,需100个专利,100亿产值。”他的话,让我们对路教授团队的研发价值有了具体量化的了解。
  面对大家的赞美,路新春同学很是谦逊:“咱们班个个都是能人,在各行各业为党为祖国为人民为家庭做出了不可磨灭的贡献,我只不过是晚熟,后知后觉,该退休年龄了还在瞎折腾而已,无他。”
  
  二、产业报国,还看新春
  “产业报国,还看新春!”山东工商学院的崔沪教授连连翘着大拇指。
  带着好奇,更怀着骄傲,我开始在网上搜寻关于关于路新春教授的报道。
  “据清华大学新闻网报道,该装备是路新春教授团队与华海清科股份有限公司继解决我国集成电路抛光装备‘卡脖子’问题后的又一突破性成果,将应用于3DIC制造、先进封装等芯片制造大生产线,满足12英寸晶圆超精密减薄工艺需求。”
  “面向国家集成电路产业发展布局,自2000年起,路新春教授团队开展化学机械抛光(CMP)基础研究,承担国家重大科技攻关任务十余项,成功孵化华海清科并研制出我国第一台12英寸‘干进干出’CMP装备及系列产品,整体技术达到国际先进水平,实现28nm工艺量产,并具备14-7nm工艺拓展能力,市占率、进口替代率均位居国产IC装备前列。”
  在2021北京微电子国际研讨会暨ICWORLD大会华海清科邀请函中,我读到了这样的字眼:“作为一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,华海清科主要从事化学机械抛光(CMP)、研磨等设备和配套耗材的研发、生产、销售,以及晶圆再生代工服务。”
  “拥有核心自主知识产权”,这几个字,让人不由得心潮澎湃,激动不已。
  落后就意味着挨打。曾经,我们的祖国国力衰弱,为列强入侵、蹂躏,生灵涂炭,国破家亡,是毛泽东主席与无数的革命先辈抛头颅洒热血,领导华夏儿女浴血奋战,打下了红色江山,让中国人民站起来了。曾经,苏联卡我们的脖子,年轻的共和国百废待兴,无数的科学家忍受着物质极度匮乏与恶劣的工作环境,潜心研发,让原子弹、氢弹爆炸,使我们的民族完全摆脱任人宰割危机四伏噩梦一般的日子;让卫星升天,“东方红”唱响寰宇。毛泽东主席倡导以独立自主、自力更生、艰苦奋斗的精神“走自己的建设道路”,激励着科技工作者创造出一个又一个世界奇迹。然后,毕竟我们国家工业化的底子薄,加上十年动乱的影响,好多领域我们还远远落后于世界先进水平。
  曾经看到过一个视频,中国科学院院士,何祚庥夫妇在痛心疾首披露着一个众所周知的现实:现在医院中的大型医疗设备95%依赖进口,即使是何院士耳朵里戴的小小助听器也是进口国外,十万人民币一对,而中国物理在此方面贡献甚微。这些年中国科技的确有了巨大进步,但还有好多制造业的一些关键配件、原材料还需依赖外国进口,一旦国外封锁,就会给很多行业带来危机。
  习近平总书记在考察清华大学时曾指出,要把服务国家作为最高追求。
  在路新春教授带领的团队身上,我感受到了科技工作者强烈的使命感和爱国热情,他们刻苦攻关,自觉履行高水平科技自立自强的使命担当,努力提升服务社会、服务国家的技术创新能力,一步一个坚实的脚印,向世界高科技先进水平攀登。
  化学机械平坦化(CMP),也称化学机械抛光,是通过使用化学腐蚀和机械作用对加工过程中的晶圆进行平坦化处理,以获得纳米级别平整表面的全局平坦化方法,是超大规模集成电路制造的五大关键技术之一。自2000年起,清华大学机械系雒建斌院士、“长江学者”路新春教授带领研究团队从事抛光技术研究,在抛光技术与抛光装备研究领域上均取得了突出的成绩,相关研究成果获得了教育部科技进步一等奖和国家科技进步奖二等奖。团队研制出的具有自主知识产权的12英寸CMP装备,其主要技术指标和抛光性能与目前国际上主流设备相当,且具有结构简单、控制简便、生产效率高的特点。
  为推动项目发展,2013年3月,清华大学联合天津市政府,投资设立了天津华海清科机电科技有限公司,路新春任董事长和首席科学家,他带领团队研发和生产具有我国自主知识产权、技术达到国际先进水平的高端CMP设备,填补我国不能生产CMP设备的历史空白,为我国集成电路制造产业提供先进的抛光设备。
  华海清科自成立以来,一直致力于高端CMP设备的产业化工作,并取得重大进展,现拥有获授权技术发明专利100余项,是目前国内唯一可提供12英寸CMP量产商业机型能力的企业。
  2017年清华产业重大科技转化成果亮相高交会,清华控股10大重大科技成果转化,其中超大规模集成电路制造化学机械抛光机即是华海清科研发的。
  2019年5月世界半导体大会上,华海清科“12英寸化学机械抛光设备Universal-300Plus”因其卓越的创新、优异的性能、迅速获得市场高度认可而获选2018年度中国半导体创新产品!2019年清华大学华海清科荣获中国机械工业科学技术(发明)特等奖、天津市科学技术奖(发明)一等奖。
  2020年4月,华海清科荣获上海华力2019年度“最具潜力供应商”奖。
  2020年5月,集成电路产业技术创新联盟举办的2020集成电路产业链协同创新发展交流会在北京召开。在备受瞩目的第三届IC创新奖的颁奖环节,华海清科凭借“12英寸Dual系列化学机械抛光(CMP)设备”项目斩获“技术创新奖”殊荣。
  2021年5月,华海清科荣获华虹宏力2020年度“优秀供应商”。
  2021年9月27日,作为我国集成电路装备行业的核心企业之一,华海清科股份有限公司成功推出了具有自主知识产权的十二英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300,于9月27日发往某客户大生产线。
  新年伊始,佳绩频传。2022年1月7日,华海清科12英寸化学机械抛光(CMP)设备顺利出货,进入先进封装国际头部企业,做TSV化学机械抛光。这是继逻辑芯片、存储芯片、大硅片、化合物半导体之后,我司CMP设备在先进封装这一重要领域的进一步拓展,充分彰显了华海清科国产集成电路装备品牌硬实力。
  将科技成果转化为产业,让科技进步与国家现代化和民族复兴同向同行,华海清科董事长、首席科学家路新春教授以及华海清科人身上,真实体现了华夏子孙高度的社会责任感,他们凭借不懈的努力,让科技进步在我国经济社会发展中发挥到了支撑引领作用。
  
  三、曾经那个翩翩少年
  身着军装色的上衣,白皙的脸庞,瘦削的身材,一双剑眉上挑,眯缝着的眼睛尽管不大,但十分有神。平时里斯文儒雅,风度翩翩;操场上生龙活虎,神采飞扬。这是高中时代的他。
  熟悉他的同学说,小时候,路新春的聪明就在十里八乡远近闻名,中学的初一初二是范家联中上学,他在学校总是第一,其骄人的成绩用他同学的话来讲,就是只能望其项背。初三进公社重点班——古镇都中学,由于初二才开始开设英语课、英语老师也是现学现卖,开始时英语考试只能得个十几分。因为那个时候,全县英语老师青黄不接,师资力量薄弱。记得我初一时,开始没有老师教英语,后来聘请了一位还没有平反的老人家教我们,他是被打成右派下放到农村改造的,非师范毕业的老师只是领着我们反复读,但是我们不会音标,不懂发音规律呀,所以学英语全靠死记硬背。记得老师教给大家读“What\\\\\\\'sthis”,我们就在英语句子下标注:“我此罪死”。七年级的英语老师是去突击培训了八个月后回来教我们的,正是这些培训英语八个月的老师,不断在教学中学习,后来扛起了栖霞初级中学英语教学的大旗。我读初中时,高中根本没有开设英语课,去姐姐所在的高中宿舍住宿,她的同学问我“枕头”怎么读,我不会,她们搞笑地编排道:“枕头是‘外布里是糠’”。
  英语教学师资力量薄弱,全县都差不多情况。而路新春同学居然在初三一年的时间里发奋努力,奋力直追,之后脱颖而出,以优异的成绩考进了县重点班。在一年时间里要把六册英语的知识学会搞懂,尽管聪明如他,这期间的付出,不言而喻。当时初中和他是同学的,有好几个数理化成绩不错,但因为英语不行,没有考上重点班,以至于没有考上大学。
  进入高中县重点八一级一班,毕竟这里云集了全县的精英学子,路新春进班时为中游,不甘人后的他,学习上奋勇直追,甩下好几十人,最好考到班级第二名。不仅学习不肯输给他人,体育方面也是如此。高中时的运动会上,他获得800米和1500米的冠军,成绩甚至超过了当时体育班的同学。
  高考,对于平时优秀的他来说,算是失利了,尽管如此,也够了复旦的线,可惜所报专业是计算机、管理等,也许因着数学成绩不太理想吧,没被录取,最后被吉林工业大学(现在的吉林大学)招生的老师看到了,就提档了。后来老师说,还怕他不去呢。他自己内心其实也动摇过,稀里糊涂去他从不曾想到过的吉林工大,心有不甘,甚至想着复读过。最后还是决定去读大学了。
  在那儿,成绩优秀的他,学习起来很是轻松,于是,他有了精力去玩他喜欢的体育活动。他是一个只要有目标就立即行动的人,他主动去找校队教练,请求加入学校中长跑队。那时候校队开始有特招生了,他是一个正常招生的,先是跟特招生一起试训,当然吃了很多苦,但是,他坚持下来了,最后被学校田径队正式接纳。除了喜欢,还有一个主要原因是校队有伙食补贴,训练日每天6毛钱,另外有队服,用他的话说,穿着挺牛逼的。这对于出身农村家庭不甚富裕的孩子来说,诱惑力巨大。因为获得了校队吃和穿的福利,是可以减轻父母的负担啊。后来教练看他肢体的协调性还不错,就让他改练竞走。
  做什么事,非得做出个样子不可。他练习竞走甚能吃苦,功夫不负有心人,他在这一方面也成绩辉煌,曾经拿过长春市、吉林省的5公里竞走冠军。1986年,他被选拔代表吉林省大学生参加了在大连举行的第二届全国大学生运动,竞走得了第六名,因为这次没能得到奖牌,他一直耿耿于怀。
  熟悉他的崔沪教授曾经爆料:路新春酷爱体育运动,高中时曾带领我们81级1班拿过全校5000米长跑团体冠军。看完少林寺,是他告诉我李连杰一秒钟能出七拳,曾经来山东工商学院跟我打过羽毛球,他是羽毛球高手,水平也相当了得。
  不甘人后,严谨,认真,能吃苦,不管做什么,只要认准目标,竭尽全力努力去争取做最好的。路新春,从青涩腼腆的中学生到活力四射的大学生,一直都是如此。
  
  四、串串闪光的足迹
  路新春为华海清科的首席科学家,也是该公司的技术、产品研发带头人,累计获已授权国家发明专利100多件,获授权美国专利3件,获授权台湾专利3件。曾牵头起草1项企业产品标准。目前,为国家自然科学基金重大项目负责人,曾是国家自然科学基金重大研究计划集成项目负责人、国家科技重大专项02专项项目负责人,曾为国家“973”计划课题负责人,多项自然科学基金项目负责人。路新春发表SCI收录论文200多篇,被引用2000多次,H因子为30,是位居全球CMP设备领域技术专家前三名,也是全球CMP设备技术授权专利获得最多的专家。
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